离子溅射仪108Auto

溅射系统样品室大小直径120mm x 120mm 高靶材Au 靶为标配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (选件);大小:直径57mm x 0.1mm厚样品台可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为50mm溅射控制微处理器控制,安全互锁,可调,电流10、20、30、40mA,程序化数字控制溅射头低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩计量表atm~1*10-3mba / 0~50mA厚度监

溅射系统

样品室大小

直径120mm x 120mm

靶材

Au 靶为标配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (选件);大小:直径57mm x 0.1mm

样品台

可以装载12SEM样品座,高度可调范围为50mm

溅射控制

微处理器控制,安全互锁,可调,电流10203040mA,程序化数字控制

溅射头

低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩

计量表

atm~1*10-3mba / 0~50mA

厚度监控
(选件)

使用MTM-20高分辨厚度控制仪(选件)自动终止溅射过程,或使用MTM-10高分辨厚度监控仪(选件)手动终止溅射过程

控制方法

自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(5300s),自动放气.整个操作亦可全手动控制。

真空系统

真空泵

2级直连式高速真空泵

极限真空

5*10-3mba

桌上系统

真空泵可置于抗震台上,全金属集成耦合系统

主要特性

一、自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和最佳的导电喷镀效果。

二、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。

三、操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

四、在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果,

五、通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)在达到设定膜厚时停止喷镀过程。

六、可用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)手动停止喷镀过程。

七、数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。

八、可使用多种金属靶材:Au Au/Pd,Pt,Pt/PdAu靶为标配),靶材更换快速方便。



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