软离子束抛光仪

产品参数:① 离子枪数量:2把② 离子枪类型:空心阴极场枪(平行宽离子束)可调节角度:90-180度。③ 离子枪电压调节:大于等于0-10kV④ 离子束加工区域:切割模式:Nlmm (深)X8mm (宽);平面拋光模式:有效加工面积直径大于25mm,⑤ 冷冻样品台:温度设定范围:(半导体)-40 °C〜室温回温温度范围:+10°C~+30°C样品尺寸:OOmmx 25mm x 20mm (厚度)⑥

产品特点••大面积厘米级产品抛光


厘米级抛光面积--制剂全平面抛光

1:样品:固体制剂

2:实际抛光尺寸:(20mm直径)

3:抛光时间:(5kV2小时)

产品特点”低温制冷切割


液氮(半导体)制冷,可达-160度(半导体-40度),易受热损伤及含水样品无损切割。


产品参数:

① 离子枪数量:2把

② 离子枪类型:空心阴极场枪(平行宽离子束)可调节角度:90-180度。

③ 离子枪电压调节:大于等于0-10kV

④ 离子束加工区域:

切割模式:Nlmm (深)X8mm (宽);

平面拋光模式:有效加工面积直径大于25mm,

⑤ 冷冻样品台:

温度设定范围:(半导体)-40 °C〜室温

回温温度范围:+10°C~+30°C

样品尺寸:OOmmx 25mm x 20mm (厚度)

⑥ 真空样品台:8*8*5mm(长宽高)

⑦ 抛光样品台:

样品尺寸:直径38mm,厚度12mm



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