软离子束抛光仪

产品特点••大面积厘米级产品抛光

厘米级抛光面积--制剂全平面抛光

1:样品：固体制剂

2：实际抛光尺寸：（20mm直径）

3：抛光时间：（5kV2小时）

产品特点”低温制冷切割

液氮（半导体）制冷，可达-160度（半导体-40度），易受热损伤及含水样品无损切割。

产品参数：

① 离子枪数量：2把

② 离子枪类型:空心阴极场枪（平行宽离子束）可调节角度：90-180度。

③ 离子枪电压调节:大于等于0-10kV

④ 离子束加工区域：

切割模式:Nlmm （深）X8mm （宽）；

平面拋光模式:有效加工面积直径大于25mm,

⑤ 冷冻样品台：

温度设定范围：（半导体）-40 °C〜室温

回温温度范围：+10°C~+30°C

样品尺寸:OOmmx 25mm x 20mm （厚度）

⑥ 真空样品台：8*8*5mm（长宽高）

⑦ 抛光样品台：

样品尺寸:直径38mm,厚度12mm