离子溅射仪108Auto
溅射系统样品室大小直径120mm x 120mm 高靶材Au 靶为标配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （选件）;大小：直径57mm x 0.1mm厚样品台可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm溅射控制微处理器控制，安全互锁，可调，电流10、20、30、40mA，程序化数字控制溅射头低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩计量表atm~1*10-3mba / 0~50mA厚度监
溅射系统 | |
样品室大小 | 直径120mm x 120mm 高 |
靶材 | Au 靶为标配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （选件）;大小：直径57mm x 0.1mm厚 |
样品台 | 可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm |
溅射控制 | 微处理器控制，安全互锁，可调，电流10、20、30、40mA，程序化数字控制 |
溅射头 | 低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩 |
计量表 | atm~1*10-3mba / 0~50mA |
厚度监控 | 使用MTM-20高分辨厚度控制仪（选件）自动终止溅射过程，或使用MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）手动终止溅射过程 |
控制方法 | 自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（5－300s），自动放气.整个操作亦可全手动控制。 |
真空系统 | |
真空泵 | 2级直连式高速真空泵 |
极限真空 | 5*10-3mba |
桌上系统 | 真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统 |
主要特性
一、自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和最佳的导电喷镀效果。
二、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
三、操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。
四、在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果，
五、通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）在达到设定膜厚时停止喷镀过程。
六、可用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）手动停止喷镀过程。
七、数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。
八、可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。